F103热蒸发镀膜设备已全部维修好，其中，NANO36的蒸发镀膜设备用于蒸镀各种金属，HKVAC3030的蒸发镀膜设备用于OLED以及部分有机材料。对材料的要求有：1. 材料不能是容易乱飞或乱喷的材料，如蒸镀Cu的时候，材料会在整个腔室乱喷，目前这个材料是杜绝的。2. 不能是吸水性材料。这种材料容易使腔室里面有水分，真空无法抽下去；3、不能是熔点和沸点太高的材料。4、尽量不蒸镀与OLED材料相差甚远的材质，以减小对制备OLED器件的影响。