仪器名称 |
Parylene镀膜设备 |
厂家 |
凯瑞纳米 |
型号 |
KR350HS |
主要规格及技术指标 |
真空泵：28 m3/H，极限0.75 Pa 冷阱：≤-90℃ 裂解炉：650℃~800℃ 蒸发温度：室温~200℃，温度偏差：±2℃ |
主要功能及应用范围 |
用于Parylene涂层的化学气相沉积制备。Parylene涂层可用于电路板、微电子半导体产品和医疗产品等的涂敷保护，可用于制备透明柔性衬底等。 |
联系人 |
刘艳云 |
联系电话 |
65883196 |
yyliu1@suda.edu.cn |
责任编辑：朱文昌