台阶仪

仪器名称

台阶仪

型号

D-100

厂家

美国KLA-Tencor

主要规格及技术指标

扫描时最小正压力：0.03mg

最佳垂直分辨率：0.38A

最大垂直测量范围：800um

主要功能及应用范围

用于各种材料的膜厚测量

联系人

杨旭敏

联系电话

65884226

E-mail

xmyang@suda.edu.cn