仪器名称 |
台阶仪 |
型号 |
D-100 |
厂家 |
美国KLA-Tencor |
主要规格及技术指标 |
扫描时最小正压力:0.03mg 最佳垂直分辨率:0.38A 最大垂直测量范围:800um |
主要功能及应用范围 |
用于各种材料的膜厚测量 |
联系人 |
杨旭敏 |
联系电话 |
65884226 |
责任编辑:杨旭敏