原子层沉积系统

仪器名称

原子层沉积系统

型号

Savannah-100

厂家

美国Cambridge Nano Tech公司

主要规格及技术指标

1.具有4路前驱体源，其中1路不加热，另3路加热温度≥200℃。

2.样品基底最大直径4英寸。

3.最大沉积温度不高于300℃。

4.设备使用氮气做载气，控制载气流量10-1000 sccm。

主要功能及应用范围

该原子沉积系统主要用于实验室级的薄膜制备，特别是致力于有机发光显示（OLED）的封装和场效应晶体管（FET）的介质层的层积。

主要附件

机械泵

联系人

朱文昌

联系电话

15301453461

E-mail

wczhu@suda.edu.cn