国别厂家：日本 日立公司

启用日期:2019-01-11

规格型号: Regulus 8100

主要技术指标:

二次电子分辨率：0.8 nm（加速电压15 kV）

1.1 nm（加速电压1 kV）

放大倍数：×20至×1000k

仪器特点和应用范围:

1.通过检测电子束激发样品产生的二次电子、背散射电子以及X射线等信号，可以获得样品微区形貌及成分等信息。可用于金属、陶瓷、半导体、矿产等多种材料的显微形貌观察、相组织与晶体结构分析、微区化学成分检测等。

2.具有低位、高位二次电子探测器，高位过滤背散射探头。可选择二次电子像、背散射电子像、混合像。

3. 100mm直径大样品交换仓，可快速换样。

联系人:虞一青

email: yyq@suda.edu.cn