国内唯一具有大口径衍射光学器件的工程化基地
时间:2021-03-09作者:浏览次数:538
建成国内最大的米级光栅实验室，成功研制1025mm×350mm介质膜脉冲压缩光栅，是迄今为止国际长度方向最大光栅，已成功应用于中科院上海光机所某驱动器升级装置高能拍瓦激光系统。2017年贯通1400mm×420mm拼接曝光全工艺流程，完成首件1400mm×420mm曝光拼接全息掩模科研样件研制，实现了米级光栅制备关键技术、检测和应用，达到国际先进水平(国际最大尺寸)。
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