应用场景

>>超材料结构特性研究
>>纳米透镜、全息透镜制备
>>裸眼3D显示的纳米导光板
>>光子晶体阵列制备
>>裸眼3D显示的纳米尺度背光源研究
>>其他复杂纳米结构的光刻研究
>>LED/OLED纳米衬底
>>全息图
>>衍射光学元件
>>连续可变焦距菲涅尔透镜阵列研究

技术特点

>> 位相分束模式空频连续设定，150nm - 5μm

>> 采用大数值孔径紫外干涉光学系统

>> 高速高性能，视场达到100um

>> 飞行曝光高速光刻

>> 3D导航自动聚焦

>> 支持GDSII, DXF, BMP等文件格式