应用场景

>>精密掩膜板
>>柔性电子
>>传感器（MEMS/NEMS）
>>生物芯片Bio-chip
>>www.优德88.cpm （微纳制造）
>>精密印刷掩膜板
>>集成成像
>>微光学元件
>>红外偏振器件
>>纳米图形（可选）
>>OLED光效提取图形
>>镂空掩膜板
>>教育（微电子、光学、先进制造、机电）
>>平板显示
>>光学防伪

技术特点

>> 支持8”－65”幅面

>> 高速图形化，高速SLM

>> 高精度浮运动平台

>> 频闪平铺光斑曝光（ Flash Tile Beam Lithography(FTBL)。采用DPSSL UV 激光器

>> 3D 导航自动聚焦

>> 支持GDS II,DXF,BMP等文件格式