激光图形化直写设备MiScan
时间:2022-06-29
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应用场景
>> 高校、研究所、企业
>> 新一代高速高精度图形化设备、满足小批量生产
>> 集成电路,MEMS、微光学、微流体、传感器、计算机全息图
技术特点
>> 高精密直线电机运动平台,支持8”基底
>> 采用大功率405nm LD 激光器(选配DPSSL 紫外激光器)
>> 自动聚焦和CCD对准
>> 分区定位,多基片阵列曝光
>> 扫描式曝光,支持灰度曝光
>> 3D导航自动聚焦
>> 支持GDSII,DXF,BMP等文件格式