椭偏仪

仪器名称:光谱式椭偏仪

英文名:Spectroscopic Ellipsometer

仪器编号:00184736

厂 家:J. A. Woollam Co., Inc.

仪器型号:M-2000Ⅴ

存放地点701-1220

购置时间:2013年11月

技术指标:

光谱范围370nm到999nm;

全光谱所有数据点同时测量;最小数据采集时间约为20HZ;

全光谱典型数据采集时间1-5秒;

准直光束，光斑直径2-5mm;

主要功能用途:

探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构

应用包括光学镀膜和保护膜、聚合物、光刻材料、平面平板显示、计算机读写头以及半导体集成电路制造的研究开发。